在对化工企业进行HAZOP分析时，其主要分析的工艺参数有：
流量、温度、时间、频率、电压、混合、PH值、分离、压力、组成、粘度、添加剂、液位、速度、信号、反应等。
对一些常用的工艺参数分析时，其可能的偏差和产生的原因参见表1。
表1 HAZOP分析工艺参数、偏差及可能原因
工艺参数 | 偏差 | 可能原因 | 工艺参数 | 偏差 | 可能原因 |
流量 | 过量(MORE) | 泵的能力增加 进口压力增加 输送压头降低 换热器管程泄漏 未安装流量限制孔板 系统互串 控制故障 控制阀进行了调整 启动了多台泵 | 流量 | 空白（NONE） | 输送线路错误 堵塞 滑板不对 单向阀装反了 管道或容器破裂 大量泄漏 设备失效 错误隔离 压差不对 气缚 |
减量（LESS） | 障碍 输送线路错误 过滤器堵塞 泵损坏 容器、阀门、孔板堵塞 密度或粘度发生变化 气蚀 排污管漏 阀门未全开 | 相逆（REVERSE） | 单向阀失效 虹吸现象 压力差不对 双向流动 紧急放空 误操作 内嵌备用设备 泵的故障 泵反转 | ||
液位 | 过量（MORE） 相当于“高” | 出口被封死或堵塞 因控制故障引起进口流 量大于出口流量 液位测量器故障 液体比重平衡 液泛 压力湍动 腐蚀 污泥 | 液位 | 减量（LESS） 相当于“低” | 无进入流体 泄漏 出口流量大于进口流量 控制故障 液位测量器故障 容器已放空 液泛 压力湍动 腐蚀 污泥 |
压力 | 过量（MORE） 相当于“高” | 堵塞间题 连接到高压设备 气体进入 放空容积不当 设置的放空压力不对 安全阀被封死 因加热而超压 控制阀因故障打开 沸腾 冻结 化学击穿 结构 发泡 冷凝 沉淀 气体释放 起爆 爆炸 爆聚 外部着火 天气条件 锤击 粘度或密度发生变化 | 压力 | 减量（LESS) 相当于“低”
| 形成真空 冷凝 气体溶解在液体中 泵或压缩机管道受到限制 未检测到泄漏 容器向外排物 气动调节阀堵塞 沸腾 气蚀 结冻 化学击穿 闪蒸 沉淀 结构 起泡 气体释放 起爆 爆炸 爆聚 着火条件 天气条件 粘度或密度发生变化 |
温度 温度 | 过量（MORE 相当于“高” | 环境条件 换热器列管淤塞或有缺陷 着火情况 冷却水出现故障 控制阀失效 加热器控制失效 内部着火 反应控制失效 加热介质漏入工艺过程中 仪表和控制故障 | 温度 | 浓度不对 | 隔离阀泄漏 换热器列管漏 原料规格不对 过程控制波动 反应生成副产品 来自高压系统的水、蒸气、燃料、润滑剂、腐蚀性产品进入，气气体进入 |
减量（LESS） 相当于“低” | 环境条件 压力降低 换热器列管淤塞或缺陷 无加热 液化气因焦尔-汤姆逊效而使压力降低 | 温度 | 杂质 | 换热器列管泄漏 | |
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